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ホロー陰極型高融点金属イオン源の開発

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ホロー陰極型高融点金属イオン源の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S63880003
国立国会図書館書誌ID
000007036612
資料種別
図書
著者
高山, 一男, 東海大学
出版者
-
出版年
1988-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ホロー インキョクガタ コウユウテン キンゾク イオン ゲン ノ カイハツ
著者・編者
高山, 一男, 東海大学
著者標目
著者 : 高山, 一男, 1916- タカヤマ, カズオ, 1916- ( 00209564 )典拠
出版年月日等
1988-1990
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
イオン源 イオンゲン
ダブルホロー陰極 ダブルホローインキヨク
高融点金属 コウユウテンキンゾク
新しいスパツタモード アタラシイスパツタモード
金属イオン生成比 キンゾクイオンセイセイヒ
大電流 ダイデンリユウ
イオンビーム イオンビーム