ホロー陰極型高融点金属イオン源の開発

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Material Type: 図書
Title: ホロー陰極型高融点金属イオン源の開発
Title Transcription: ホローインキョクガタコウユウテンキンゾクイオンゲンノカイハツ
Author/Editor: 高山, 一男, 東海大学
Author Heading: 著者：高山, 一男, 1916- タカヤマ, カズオ, 1916- ( 00209564 )Authorities
Publication Date: 1988-1990
Publication Date (W3CDTF): 1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目奨励研究(B)
Subject Heading: イオン源イオンゲン
ダブルホロー陰極ダブルホローインキヨク
高融点金属コウユウテンキンゾク
新しいスパツタモードアタラシイスパツタモード
金属イオン生成比キンゾクイオンセイセイヒ
大電流ダイデンリユウ
イオンビームイオンビーム
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63880003
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S63880003
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007036612
http://id.ndl.go.jp/bib/000007036612
Bibliographic Record Category (NDL): 214