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LSI製造用自動パターン位置決め方式の研究

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LSI製造用自動パターン位置決め方式の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S00346097
国立国会図書館書誌ID
000007039323
資料種別
図書
著者
大島, 康次郎, 東京大学
出版者
-
出版年
1978-1979
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
LSI セイゾウヨウ ジドウ パターン イチギメ ホウシキ ノ ケンキュウ
著者・編者
大島, 康次郎, 東京大学
著者標目
大島, 康次郎 オオシマ, ヤスジロウ
出版年月日等
1978-1979
出版年(W3CDTF)
1978
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
NDLC