図書

LSI製造用自動パターン位置決め方式の研究

Icons representing 図書

LSI製造用自動パターン位置決め方式の研究

Call No. (NDL)
Y151-S00346097
Bibliographic ID of National Diet Library
000007039323
Material type
図書
Author
大島, 康次郎, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1978-1979
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
LSI セイゾウヨウ ジドウ パターン イチギメ ホウシキ ノ ケンキュウ
Author/Editor
大島, 康次郎, 東京大学
Author Heading
大島, 康次郎 オオシマ, ヤスジロウ
Publication Date
1978-1979
Publication Date (W3CDTF)
1978
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
NDLC