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非平衡プラズマによる材料プロセス過程の気体電子工学的・装置工学的研究

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非平衡プラズマによる材料プロセス過程の気体電子工学的・装置工学的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S59350017
国立国会図書館書誌ID
000007041984
資料種別
図書
著者
菅原, 実, 群馬大学
出版者
-
出版年
1984-1986
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒヘイコウ プラズマ ニ ヨル ザイリョウ プロセス カテイ ノ キタイ デンシ コウガクテキ ・ ソウチ コウガクテキ ケンキュウ
著者・編者
菅原, 実, 群馬大学
著者標目
菅原, 実 スガワラ, ミノル
出版年月日等
1984-1986
出版年(W3CDTF)
1984
数量
その他のタイトル
研究種目 総合研究(A)
NDLC