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非平衡プラズマによる材料プロセス過程の気体電子工学的・装置工学的研究

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非平衡プラズマによる材料プロセス過程の気体電子工学的・装置工学的研究

Call No. (NDL)
Y151-S59350017
Bibliographic ID of National Diet Library
000007041984
Material type
図書
Author
菅原, 実, 群馬大学
Publisher
-
Publication date
1984-1986
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title
非平衡プラズマによる材料プロセス過程の気体電子工学的・装置工学的研究
Title Transcription
ヒヘイコウ プラズマ ニ ヨル ザイリョウ プロセス カテイ ノ キタイ デンシ コウガクテキ ・ ソウチ コウガクテキ ケンキュウ
Author/Editor
菅原, 実, 群馬大学
Author Heading
菅原, 実 スガワラ, ミノル
Publication Date
1984-1986
Publication Date (W3CDTF)
1984
Extent
冊
Additional Title
研究種目 総合研究(A)
NDLC
Y151