プラズマ援用による単結晶SiCの低温成長

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマ援用による単結晶SiCの低温成長
• タイトルよみ: プラズマ エンヨウ ニ ヨル タンケッショウ SiC ノ テイオン セイチョウ
• 著者・編者: 西野, 茂弘, 京都大学
• 著者標目: 西野, 茂弘 ニシノ, シゲヒロ
• 出版年月日等: 1984-1985
• 出版年（W3CDTF）: 1984
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 59550011
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S59550011
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007043339; http://id.ndl.go.jp/bib/000007043339
• 整理区分コード: 214