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プラズマ援用による単結晶SiCの低温成長

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プラズマ援用による単結晶SiCの低温成長

Call No. (NDL)
Y151-S59550011
Bibliographic ID of National Diet Library
000007043339
Material type
図書
Author
西野, 茂弘, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1984-1985
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
プラズマ エンヨウ ニ ヨル タンケッショウ SiC ノ テイオン セイチョウ
Author/Editor
西野, 茂弘, 京都大学
Author Heading
西野, 茂弘 ニシノ, シゲヒロ
Publication Date
1984-1985
Publication Date (W3CDTF)
1984
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
NDLC