SOR・X線リソグラフィにおける大面積均一露光のための新光源開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: SOR・X線リソグラフィにおける大面積均一露光のための新光源開発
• タイトルよみ: SOR Xセン リソグラフィ ニ オケル ダイメンセキ キンイツ ロコウ ノ タメ ノ シン コウゲン カイハツ
• 著者・編者: 石井武比古, 東京大学 [著]
• 著者標目: 石井, 武比古 イシイ, タケヒコ; 東京大学 トウキョウ ダイガク
• 出版事項: [石井武比古]
• 出版年月日等: 1983-1984; 1985.3
• 出版年（W3CDTF）: 1983; 1984
• 数量: 5p
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 58460068
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S58460068
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007049160; http://id.ndl.go.jp/bib/000007049160
• 整理区分コード: 214