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SOR・X線リソグラフィにおける大面積均一露光のための新光源開発

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SOR・X線リソグラフィにおける大面積均一露光のための新光源開発

Call No. (NDL)
Y151-S58460068
Bibliographic ID of National Diet Library
000007049160
Material type
図書
Author
石井武比古, 東京大学 [著]
Publisher
[石井武比古]
Publication date
1983-1984
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
5p
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
SOR・X線リソグラフィにおける大面積均一露光のための新光源開発
Title Transcription
SOR Xセン リソグラフィ ニ オケル ダイメンセキ キンイツ ロコウ ノ タメ ノ シン コウゲン カイハツ
Author/Editor
石井武比古, 東京大学 [著]
Author Heading
石井, 武比古 イシイ, タケヒコ
東京大学 トウキョウ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
[石井武比古]
Publication Date
1983-1984
1985.3
Publication Date (W3CDTF)
1983
1984
Extent
5p
Additional Title
研究種目 一般研究(B)