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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- UMS ギジュツ ニ ヨル エレクトロニクス ザイリョウ ヒョウメン ノ チョウコウセイド トクセイ カイセキ ・ ヒョウカホウ
- 著者・編者
- 櫛引, 淳一, 東北大学
- 著者標目
- 櫛引, 淳一 クシビキ, ジュンイチ
- 出版年月日等
- 1997-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 超音波マイクロスペクトロスコピー チヨウオンパマイクロスペクトロスコピーLFB超音波顕微鏡 LFBチヨウオンパケンビキヨウV (z) 曲線解析法 V (Z) キヨクセンカイセキホウ漏洩弾性表面波 ロウエイダンセイヒヨウメンハ半導体材料評価 ハンドウタイザイリヨウヒヨウカデバイス作製プロセス評価 デバイスサクセイプロセスヒヨウカ層状構造試料 ソウジヨウコウゾウシリヨウ音響的均一性 オンキヨウテキキンイツセイ