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UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法

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UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法

Call No. (NDL)
Y151-H09450120
Bibliographic ID of National Diet Library
000007055933
Material type
図書
Author
櫛引, 淳一, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1997-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法
Title Transcription
UMS ギジュツ ニ ヨル エレクトロニクス ザイリョウ ヒョウメン ノ チョウコウセイド トクセイ カイセキ ・ ヒョウカホウ
Author/Editor
櫛引, 淳一, 東北大学
Author Heading
櫛引, 淳一 クシビキ, ジュンイチ
Publication Date
1997-1999
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
超音波マイクロスペクトロスコピー チヨウオンパマイクロスペクトロスコピー
LFB超音波顕微鏡 LFBチヨウオンパケンビキヨウ
V (z) 曲線解析法 V (Z) キヨクセンカイセキホウ
漏洩弾性表面波 ロウエイダンセイヒヨウメンハ
半導体材料評価 ハンドウタイザイリヨウヒヨウカ
デバイス作製プロセス評価 デバイスサクセイプロセスヒヨウカ
層状構造試料 ソウジヨウコウゾウシリヨウ
音響的均一性 オンキヨウテキキンイツセイ