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エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

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エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

国立国会図書館請求記号
Y151-H09450124
国立国会図書館書誌ID
000007055934
資料種別
図書
著者
長谷川誠一, 金沢大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
エッチング オヨビ カイメン セイギョ コウカ ニ ヨル コウケッショウセイ イチジクハイコウ タケッショウ Si マク ノ テイオン サクセイ
著者・編者
長谷川誠一, 金沢大学
著者標目
長谷川, 誠一 ハセガワ, セイイチ
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
多結晶シリコン タケツシヨウシリコン
界面制御 カイメンセイギヨ
結晶構造 ケツシヨウコウゾウ
基板のプラズマ処理 キバンノプラズマシヨリ
一軸配向 1ジクハイコウ
エツチング効果 エツチングコウカ
結合構造 ケツゴウコウゾウ
表面モフオロジー ヒヨウメンモフオロジー