エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

• Material Type: 図書
• Title: エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製
• Title Transcription: エッチング オヨビ カイメン セイギョ コウカ ニ ヨル コウケッショウセイ イチジクハイコウ タケッショウ Si マク ノ テイオン サクセイ
• Author/Editor: 長谷川誠一, 金沢大学
• Author Heading: 長谷川, 誠一 ハセガワ, セイイチ
• Publication Date: 1997-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1997; 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 多結晶シリコン タケツシヨウシリコン; 界面制御 カイメンセイギヨ; 結晶構造 ケツシヨウコウゾウ; 基板のプラズマ処理 キバンノプラズマシヨリ; 一軸配向 1ジクハイコウ; エツチング効果 エツチングコウカ; 結合構造 ケツゴウコウゾウ; 表面モフオロジー ヒヨウメンモフオロジー
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450124
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09450124
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007055934; http://id.ndl.go.jp/bib/000007055934
• Bibliographic Record Category (NDL): 214