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フオトルミネセンス法によるシリカ薄膜中の欠陥の検出ならびに構造解析

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フオトルミネセンス法によるシリカ薄膜中の欠陥の検出ならびに構造解析

国立国会図書館請求記号
Y151-H09450132
国立国会図書館書誌ID
000007055938
資料種別
図書
著者
大木, 義路, 早稲田大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
フオトルミネセンスホウ ニ ヨル シリカ ハクマク チュウ ノ ケッカン ノ ケンシュツ ナラビニ コウゾウ カイセキ
著者・編者
大木, 義路, 早稲田大学
著者標目
著者 : 大木, 義路, 1950- オオキ, ヨシミチ, 1950- ( 00117517 )典拠
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリカ シリカ
シリコン熱酸化膜 シリコンネツサンカマク
フオトルミネセンス フオトルミネセンス
点欠陥 テンケツカン
シリコン埋め込み酸化膜 シリコンウメコミサンカマク
フツ素添加SiO2 フツソテンカSIO2
シリコン窒化膜 シリコンチツカマク