フオトルミネセンス法によるシリカ薄膜中の欠陥の検出ならびに構造解析

• Material Type: 図書
• Title: フオトルミネセンス法によるシリカ薄膜中の欠陥の検出ならびに構造解析
• Title Transcription: フオトルミネセンスホウ ニ ヨル シリカ ハクマク チュウ ノ ケッカン ノ ケンシュツ ナラビニ コウゾウ カイセキ
• Author/Editor: 大木, 義路, 早稲田大学
• Author Heading: 著者 ： 大木, 義路, 1950- オオキ, ヨシミチ, 1950- ( 00117517 )Authorities
• Publication Date: 1997-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: シリカ シリカ; シリコン熱酸化膜 シリコンネツサンカマク; フオトルミネセンス フオトルミネセンス; 点欠陥 テンケツカン; シリコン埋め込み酸化膜 シリコンウメコミサンカマク; フツ素添加SiO2 フツソテンカSIO2; シリコン窒化膜 シリコンチツカマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450132
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09450132
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007055938; http://id.ndl.go.jp/bib/000007055938
• Bibliographic Record Category (NDL): 214