CF4/O2混合ガスプラズマ排気系における各種金属および合金の腐食機構

• 資料種別: 図書
• タイトル: CF4/O2混合ガスプラズマ排気系における各種金属および合金の腐食機構
• タイトルよみ: CF4/O2 コンゴウ ガスプラズマ ハイキケイ ニ オケル カクシュ キンゾク オヨビ ゴウキン ノ フショク キコウ
• 著者・編者: 杉本, 克久, 東北大学
• 著者標目: 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ
• 出版年月日等: 1997-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: プラズマエツチング プラズマエツチング; 反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチング; プラズマ下流域腐食 プラズマカリユウイキフシヨク; 腐食速度 フシヨクソクド; 気相分析 キソウブンセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09450264
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09450264
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007055984; http://id.ndl.go.jp/bib/000007055984
• 整理区分コード: 214