CF4/O2混合ガスプラズマ排気系における各種金属および合金の腐食機構

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: CF4/O2混合ガスプラズマ排気系における各種金属および合金の腐食機構
Title Transcription: CF4/O2 コンゴウガスプラズマハイキケイニオケルカクシュキンゾクオヨビゴウキンノフショクキコウ
Author/Editor: 杉本, 克久, 東北大学
Author Heading: 杉本, 克久スギモト, カツヒサ
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: プラズマエツチングプラズマエツチング
反応性イオンエツチングハンノウセイイオンエツチング
プラズマ下流域腐食プラズマカリユウイキフシヨク
腐食速度フシヨクソクド
気相分析キソウブンセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450264
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09450264
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007055984
http://id.ndl.go.jp/bib/000007055984
Bibliographic Record Category (NDL): 214