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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウソクジュウ イオン ノ デンシテキ スパツタリング ニ ヨル クラスター リュウシ セイセイ キコウ ノ カイメイ ト オウヨウ
- 著者・編者
- 今西, 信嗣, 京都大学
- 著者標目
- 今西, 信嗣 イマニシ, ノブツグ
- 出版年月日等
- 1997-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 電子的スパツタリング デンシテキスパツタリング重イオンビーム ジユウイオンビームクラスターイオン クラスターイオン放出収率 ホウシユツシユウリツ放出角度分布 ホウシユツカクドブンプ2次イオン初期エネルギー 2ジイオンシヨキエネルギー飛行時間測定 ヒコウジカンソクテイ照射効果 シヨウシヤコウカ