Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウソクジュウ イオン ノ デンシテキ スパツタリング ニ ヨル クラスター リュウシ セイセイ キコウ ノ カイメイ ト オウヨウ
- Author/Editor
- 今西, 信嗣, 京都大学
- Author Heading
- 今西, 信嗣 イマニシ, ノブツグ
- Publication Date
- 1997-1999
- Publication Date (W3CDTF)
- 1997
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 電子的スパツタリング デンシテキスパツタリング重イオンビーム ジユウイオンビームクラスターイオン クラスターイオン放出収率 ホウシユツシユウリツ放出角度分布 ホウシユツカクドブンプ2次イオン初期エネルギー 2ジイオンシヨキエネルギー飛行時間測定 ヒコウジカンソクテイ照射効果 シヨウシヤコウカ