Jump to main content
図書

高速重イオンの電子的スパツタリングによるクラスター粒子生成機構の解明と応用

Icons representing 図書

高速重イオンの電子的スパツタリングによるクラスター粒子生成機構の解明と応用

Call No. (NDL)
Y151-H09480099
Bibliographic ID of National Diet Library
000007056350
Material type
図書
Author
今西, 信嗣, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1997-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウソクジュウ イオン ノ デンシテキ スパツタリング ニ ヨル クラスター リュウシ セイセイ キコウ ノ カイメイ ト オウヨウ
Author/Editor
今西, 信嗣, 京都大学
Author Heading
今西, 信嗣 イマニシ, ノブツグ
Publication Date
1997-1999
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
電子的スパツタリング デンシテキスパツタリング
重イオンビーム ジユウイオンビーム
クラスターイオン クラスターイオン
放出収率 ホウシユツシユウリツ
放出角度分布 ホウシユツカクドブンプ
2次イオン初期エネルギー 2ジイオンシヨキエネルギー
飛行時間測定 ヒコウジカンソクテイ
照射効果 シヨウシヤコウカ