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システム・オン・ガラス基礎技術の研究

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システム・オン・ガラス基礎技術の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H09555109
国立国会図書館書誌ID
000007056504
資料種別
図書
著者
松村正清, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
システム ・ オン ・ ガラス キソ ギジュツ ノ ケンキュウ
著者・編者
松村正清, 東京工業大学
著者標目
松村, 正清 マツムラ, マサキヨ
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
エキシマレーザ結晶化 エキシマレーザケツシヨウカ
薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ
SOI SOI
多結晶シリコン タケツシヨウシリコン
横方向成長 ヨコホウコウセイチヨウ
SiC SIC
位相シフト イソウシフト