システム・オン・ガラス基礎技術の研究

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Material Type: 図書
Title: システム・オン・ガラス基礎技術の研究
Title Transcription: システム・オン・ガラスキソギジュツノケンキュウ
Author/Editor: 松村正清, 東京工業大学
Author Heading: 松村, 正清マツムラ, マサキヨ
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: エキシマレーザ結晶化エキシマレーザケツシヨウカ
薄膜トランジスタハクマクトランジスタ
SOI SOI
多結晶シリコンタケツシヨウシリコン
横方向成長ヨコホウコウセイチヨウ
SiC SIC
位相シフトイソウシフト
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555109
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09555109
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007056504
http://id.ndl.go.jp/bib/000007056504
Bibliographic Record Category (NDL): 214