システム・オン・ガラス基礎技術の研究

• Material Type: 図書
• Title: システム・オン・ガラス基礎技術の研究
• Title Transcription: システム ・ オン ・ ガラス キソ ギジュツ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 松村正清, 東京工業大学
• Author Heading: 松村, 正清 マツムラ, マサキヨ
• Publication Date: 1997-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1997; 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: エキシマレーザ結晶化 エキシマレーザケツシヨウカ; 薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ; SOI SOI; 多結晶シリコン タケツシヨウシリコン; 横方向成長 ヨコホウコウセイチヨウ; SiC SIC; 位相シフト イソウシフト
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555109
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09555109
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007056504; http://id.ndl.go.jp/bib/000007056504
• Bibliographic Record Category (NDL): 214