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図書
原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発
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原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発
国立国会図書館請求記号
Y151-H09555240
国立国会図書館書誌ID
000007056554
資料種別
図書
著者
足立, 元明, 大阪府立大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発
タイトルよみ
ゲンリョウ ガス ノ イオンカ ニ ヨル ムハツ ジン CVD セイマク ソウチ ノ カイハツ
著者・編者
足立, 元明, 大阪府立大学
著者標目
足立, 元明
アダチ, モトアキ
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
減圧CVD
ゲンアツCVD
薄膜
ハクマク
イオンクラスター
イオンクラスター
UV励起
UVレイキ
光電子放出
コウデンシホウシユツ
イオン化
イオンカ
TEOS
TEOS
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
09555240
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H09555240
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007056554
http://id.ndl.go.jp/bib/000007056554
整理区分コード
214
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