原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発

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Material Type: 図書
Title: 原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発
Title Transcription: ゲンリョウガスノイオンカニヨルムハツジン CVD セイマクソウチノカイハツ
Author/Editor: 足立, 元明, 大阪府立大学
Author Heading: 足立, 元明アダチ, モトアキ
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 減圧CVD ゲンアツCVD
薄膜ハクマク
イオンクラスターイオンクラスター
UV励起 UVレイキ
光電子放出コウデンシホウシユツ
イオン化イオンカ
TEOS TEOS
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555240
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09555240
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007056554
http://id.ndl.go.jp/bib/000007056554
Bibliographic Record Category (NDL): 214