高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
• タイトルよみ: コウミツド プラズマ オ モチイタ ダイ メンセキ タケッショウ シリコン ハクマク ノ テイオン ケイセイ
• 著者・編者: 豊田, 浩孝, 名古屋大学
• 著者標目: 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ
• 出版年月日等: 1997-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 多結晶シリコン タケツシヨウシリコン; 誘導結合プラズマ ユウドウケツゴウプラズマ; 低温形成 テイオンケイセイ; 高密度プラズマ コウミツドプラズマ; 高速堆積 コウソクタイセキ; 大面積堆積 ダイメンセキタイセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書; 付属資料 (CD-ROM1枚) は別置
• 科研費課題番号: 09558055
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09558055
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007056724; http://id.ndl.go.jp/bib/000007056724
• 整理区分コード: 214