高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成

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Material Type: 図書
Title: 高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
Title Transcription: コウミツドプラズマオモチイタダイメンセキタケッショウシリコンハクマクノテイオンケイセイ
Author/Editor: 豊田, 浩孝, 名古屋大学
Author Heading: 豊田, 浩孝トヨダ, ヒロタカ
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 多結晶シリコンタケツシヨウシリコン
誘導結合プラズマユウドウケツゴウプラズマ
低温形成テイオンケイセイ
高密度プラズマコウミツドプラズマ
高速堆積コウソクタイセキ
大面積堆積ダイメンセキタイセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
付属資料 (CD-ROM1枚) は別置
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09558055
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09558055
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007056724
http://id.ndl.go.jp/bib/000007056724
Bibliographic Record Category (NDL): 214