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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- キョクタン シガイコウ リソグラフイヨウ ハクマク ノ サイテキ セッケイ ト ブンコウ エリプソメトリ ニ ヨル ソノ ヒョウカホウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 山口, 十六夫, 静岡大学
- 著者標目
- 山口, 十六夫 ヤマグチ, トムオ
- 出版年月日等
- 1997-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 極端紫外光リソグラフイ キヨクタンシガイコウリソグラフイ超解像マスク チヨウカイゾウマスク単層ハーフトーン位相シフトマスク タンソウハーフトーンイソウシフトマスクa-SiNX A-SINX分光エリプソメトリ ブンコウエリプソメトリ堆積過程モニタリング タイセキカテイモニタリング基板温度監視 キバンオンドカンシRFスパツタリング RFスパツタリング