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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- キョクタン シガイコウ リソグラフイヨウ ハクマク ノ サイテキ セッケイ ト ブンコウ エリプソメトリ ニ ヨル ソノ ヒョウカホウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 山口, 十六夫, 静岡大学
- Author Heading
- 山口, 十六夫 ヤマグチ, トムオ
- Publication Date
- 1997-1999
- Publication Date (W3CDTF)
- 1997
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 極端紫外光リソグラフイ キヨクタンシガイコウリソグラフイ超解像マスク チヨウカイゾウマスク単層ハーフトーン位相シフトマスク タンソウハーフトーンイソウシフトマスクa-SiNX A-SINX分光エリプソメトリ ブンコウエリプソメトリ堆積過程モニタリング タイセキカテイモニタリング基板温度監視 キバンオンドカンシRFスパツタリング RFスパツタリング