超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制振

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制振
• タイトルよみ: チョウビサイ カコウ オ ジツゲン スル ジキ フジョウ オ モチイタ ビシンドウ ノ セイシン
• 著者・編者: 金光, 陽一, 九州大学
• 著者標目: 金光, 陽一 カネミツ, ヨウイチ
• 出版年月日等: 1997-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 磁気浮上 ジキフジヨウ; 微振動 ビシンドウ; 防振 ボウシン; 磁気軸受 ジキジクウケ; 電子顕微鏡 デンシケンビキヨウ; ロバスト制御 ロバストセイギヨ; 半導体製造装置 ハンドウタイセイゾウソウチ; 半導体検査装置 ハンドウタイケンサソウチ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650272
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650272
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007057231; http://id.ndl.go.jp/bib/000007057231
• 整理区分コード: 214