超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制振

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Material Type: 図書
Title: 超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制振
Title Transcription: チョウビサイカコウオジツゲンスルジキフジョウオモチイタビシンドウノセイシン
Author/Editor: 金光, 陽一, 九州大学
Author Heading: 金光, 陽一カネミツ, ヨウイチ
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 磁気浮上ジキフジヨウ
微振動ビシンドウ
防振ボウシン
磁気軸受ジキジクウケ
電子顕微鏡デンシケンビキヨウ
ロバスト制御ロバストセイギヨ
半導体製造装置ハンドウタイセイゾウソウチ
半導体検査装置ハンドウタイケンサソウチ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650272
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650272
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007057231
http://id.ndl.go.jp/bib/000007057231
Bibliographic Record Category (NDL): 214