電子デバイス用バルク単結晶中の欠陥形成過程の検討

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電子デバイス用バルク単結晶中の欠陥形成過程の検討
• タイトルよみ: デンシ デバイスヨウ バルクタンケッショウ チュウ ノ ケッカン ケイセイ カテイ ノ ケントウ
• 著者・編者: 柿本, 浩一, 九州大学
• 著者標目: 柿本, 浩一 カキモト, コウイチ
• 出版年月日等: 1997-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: シリコン シリコン; 分子動力学 ブンシドウリキガク; 酸素 サンソ; 拡散係数 カクサンケイスウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650813
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650813
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007057335; http://id.ndl.go.jp/bib/000007057335
• 整理区分コード: 214