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UV励起/光電子放出による半導体粒子の減圧場における帯電

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UV励起/光電子放出による半導体粒子の減圧場における帯電

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650849
国立国会図書館書誌ID
000007057344
資料種別
図書
著者
足立, 元明, 大阪府立大学
出版者
-
出版年
1997-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
UV レイキ/コウデンシ ホウシュツ ニ ヨル ハンドウタイ リュウシ ノ ゲンアツジョウ ニ オケル タイデン
著者・編者
足立, 元明, 大阪府立大学
著者標目
足立, 元明 アダチ, モトアキ
出版年月日等
1997-1999
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
半導体 ハンドウタイ
ナノメータ粒子 ナノメータリユウシ
真空プロセス シンクウプロセス
UV励起 UVレイキ
光電子放出 コウデンシホウシユツ
帯電 タイデン
微粒子捕集 ビリユウシホシユウ