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UV励起/光電子放出による半導体粒子の減圧場における帯電

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UV励起/光電子放出による半導体粒子の減圧場における帯電

Call No. (NDL)
Y151-H09650849
Bibliographic ID of National Diet Library
000007057344
Material type
図書
Author
足立, 元明, 大阪府立大学
Publisher
-
Publication date
1997-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
UV レイキ/コウデンシ ホウシュツ ニ ヨル ハンドウタイ リュウシ ノ ゲンアツジョウ ニ オケル タイデン
Author/Editor
足立, 元明, 大阪府立大学
Author Heading
足立, 元明 アダチ, モトアキ
Publication Date
1997-1999
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
半導体 ハンドウタイ
ナノメータ粒子 ナノメータリユウシ
真空プロセス シンクウプロセス
UV励起 UVレイキ
光電子放出 コウデンシホウシユツ
帯電 タイデン
微粒子捕集 ビリユウシホシユウ