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知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究

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知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10044114
国立国会図書館書誌ID
000007058341
資料種別
図書
著者
大見, 忠弘, 東北大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チテキ デンシ システム ノ タメ ノ カガクテキ LSI セイゾウ ギジュツ ノ ケンキュウ
著者・編者
大見, 忠弘, 東北大学
著者標目
大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 国際学術研究
件名標目
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
平行平板プラズマ ヘイコウヘイバンプラズマ
コンタミネーシヨンフリー コンタミネーシヨンフリー
半導体 ハンドウタイ
プロセス プロセス
高品質薄膜形成 コウヒンシツハクマクケイセイ