知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究
• タイトルよみ: チテキ デンシ システム ノ タメ ノ カガクテキ LSI セイゾウ ギジュツ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 大見, 忠弘, 東北大学
• 著者標目: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 国際学術研究
• 件名標目: マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; 平行平板プラズマ ヘイコウヘイバンプラズマ; コンタミネーシヨンフリー コンタミネーシヨンフリー; 半導体 ハンドウタイ; プロセス プロセス; 高品質薄膜形成 コウヒンシツハクマクケイセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10044114
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10044114
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007058341; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058341
• 整理区分コード: 214