知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究

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Material Type: 図書
Title: 知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究
Title Transcription: チテキデンシシステムノタメノカガクテキ LSI セイゾウギジュツノケンキュウ
Author/Editor: 大見, 忠弘, 東北大学
Author Heading: 大見, 忠弘オオミ, タダヒロ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目国際学術研究
Subject Heading: マイクロ波プラズママイクロハプラズマ
平行平板プラズマヘイコウヘイバンプラズマ
コンタミネーシヨンフリーコンタミネーシヨンフリー
半導体ハンドウタイ
プロセスプロセス
高品質薄膜形成コウヒンシツハクマクケイセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10044114
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10044114
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007058341
http://id.ndl.go.jp/bib/000007058341
Bibliographic Record Category (NDL): 214