超薄膜超微細構造デバイスに関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超薄膜超微細構造デバイスに関する研究
• タイトルよみ: チョウハクマク チョウビサイ コウゾウ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 小田, 俊理, 東京工業大学
• 著者標目: 著者 ： 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )典拠
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 国際学術研究
• 件名標目: 超高速デバイス チヨウコウソクデバイス; 超伝導デバイス チヨウデンドウデバイス; 極微細加工プロセス キヨクビサイカコウプロセス; 電子ビーム露光技術 デンシビームロコウギジユツ; 超薄膜結晶成長 チヨウハクマクケツシヨウセイチヨウ; 量子効果デバイス リヨウシコウカデバイス; 原子層エピタキシー ゲンシソウエピタキシー; 薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10044138
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10044138
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007058355; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058355
• 整理区分コード: 214