超薄膜超微細構造デバイスに関する研究

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Material Type: 図書
Title: 超薄膜超微細構造デバイスに関する研究
Title Transcription: チョウハクマクチョウビサイコウゾウデバイスニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小田, 俊理, 東京工業大学
Author Heading: 著者：小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )Authorities
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目国際学術研究
Subject Heading: 超高速デバイスチヨウコウソクデバイス
超伝導デバイスチヨウデンドウデバイス
極微細加工プロセスキヨクビサイカコウプロセス
電子ビーム露光技術デンシビームロコウギジユツ
超薄膜結晶成長チヨウハクマクケツシヨウセイチヨウ
量子効果デバイスリヨウシコウカデバイス
原子層エピタキシーゲンシソウエピタキシー
薄膜トランジスタハクマクトランジスタ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10044138
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10044138
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007058355
http://id.ndl.go.jp/bib/000007058355
Bibliographic Record Category (NDL): 214