超薄膜超微細構造デバイスに関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 超薄膜超微細構造デバイスに関する研究
• Title Transcription: チョウハクマク チョウビサイ コウゾウ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 小田, 俊理, 東京工業大学
• Author Heading: 著者 ： 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )Authorities
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 国際学術研究
• Subject Heading: 超高速デバイス チヨウコウソクデバイス; 超伝導デバイス チヨウデンドウデバイス; 極微細加工プロセス キヨクビサイカコウプロセス; 電子ビーム露光技術 デンシビームロコウギジユツ; 超薄膜結晶成長 チヨウハクマクケツシヨウセイチヨウ; 量子効果デバイス リヨウシコウカデバイス; 原子層エピタキシー ゲンシソウエピタキシー; 薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10044138
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10044138
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007058355; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058355
• Bibliographic Record Category (NDL): 214