動作周波数10GHzを実現する極限超高速超高集積金属基板SOI集積回路

• 資料種別: 図書
• タイトル: 動作周波数10GHzを実現する極限超高速超高集積金属基板SOI集積回路
• タイトルよみ: ドウサ シュウハスウ 10GHz オ ジツゲン スル キョクゲン チョウコウソク チョウコウシュウセキ キンゾク キバン SOI シュウセキ カイロ
• 著者・編者: 大見, 忠弘, 東北大学
• 著者標目: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 金属基板SOI キンゾクキバンSOI; シリサイド反応 シリサイドハンノウ; 陽極化成 ヨウキヨクカセイ; 多孔質シリコン タコウシツシリコン; エピタキシヤル エピタキシヤル
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10305022
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10305022
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007058570; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058570
• 整理区分コード: 214