動作周波数10GHzを実現する極限超高速超高集積金属基板SOI集積回路

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Material Type: 図書
Title: 動作周波数10GHzを実現する極限超高速超高集積金属基板SOI集積回路
Title Transcription: ドウサシュウハスウ 10GHz オジツゲンスルキョクゲンチョウコウソクチョウコウシュウセキキンゾクキバン SOI シュウセキカイロ
Author/Editor: 大見, 忠弘, 東北大学
Author Heading: 大見, 忠弘オオミ, タダヒロ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 金属基板SOI キンゾクキバンSOI
シリサイド反応シリサイドハンノウ
陽極化成ヨウキヨクカセイ
多孔質シリコンタコウシツシリコン
エピタキシヤルエピタキシヤル
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10305022
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10305022
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007058570
http://id.ndl.go.jp/bib/000007058570
Bibliographic Record Category (NDL): 214