プラズマCVMを用いた超精密非球面光学素子加工装置の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマCVMを用いた超精密非球面光学素子加工装置の開発
• タイトルよみ: プラズマ CVM オ モチイタ チョウセイミツ ヒキュウメン コウガク ソシ カコウ ソウチ ノ カイハツ
• 著者・編者: 森, 勇蔵, 大阪大学
• 著者標目: 森, 勇蔵 モリ, ユウゾウ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: プラズマCVM プラズマCVM; 大気圧プラズマ タイキアツプラズマ; ラジカル ラジカル; 高速回転電極 コウソクカイテンデンキヨク; 数値制御加工 スウチセイギヨカコウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10355007
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10355007
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007058605; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058605
• 整理区分コード: 214