プラズマCVMを用いた超精密非球面光学素子加工装置の開発

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Material Type: 図書
Title: プラズマCVMを用いた超精密非球面光学素子加工装置の開発
Title Transcription: プラズマ CVM オモチイタチョウセイミツヒキュウメンコウガクソシカコウソウチノカイハツ
Author/Editor: 森, 勇蔵, 大阪大学
Author Heading: 森, 勇蔵モリ, ユウゾウ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: プラズマCVM プラズマCVM
大気圧プラズマタイキアツプラズマ
ラジカルラジカル
高速回転電極コウソクカイテンデンキヨク
数値制御加工スウチセイギヨカコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10355007
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10355007
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007058605
http://id.ndl.go.jp/bib/000007058605
Bibliographic Record Category (NDL): 214