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形状評価のマルチスケール化に関する基礎研究

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形状評価のマルチスケール化に関する基礎研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10450063
国立国会図書館書誌ID
000007058763
資料種別
図書
著者
笹島, 和幸, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ケイジョウ ヒョウカ ノ マルチスケールカ ニ カンスル キソ ケンキュウ
著者・編者
笹島, 和幸, 東京工業大学
著者標目
笹島, 和幸 ササジマ, カズユキ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
形状測定 ケイジヨウソクテイ
マルチスケール マルチスケール
画像計測 ガゾウケイソク
干渉計測 カンシヨウケイソク
ステイツチング ステイツチング
表面粗さ ヒヨウメンアラサ
平面度 ヘイメンド
顕微鏡 ケンビキヨウ