形状評価のマルチスケール化に関する基礎研究

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Material Type: 図書
Title: 形状評価のマルチスケール化に関する基礎研究
Title Transcription: ケイジョウヒョウカノマルチスケールカニカンスルキソケンキュウ
Author/Editor: 笹島, 和幸, 東京工業大学
Author Heading: 笹島, 和幸ササジマ, カズユキ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 形状測定ケイジヨウソクテイ
マルチスケールマルチスケール
画像計測ガゾウケイソク
干渉計測カンシヨウケイソク
ステイツチングステイツチング
表面粗さヒヨウメンアラサ
平面度ヘイメンド
顕微鏡ケンビキヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10450063
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10450063
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007058763
http://id.ndl.go.jp/bib/000007058763
Bibliographic Record Category (NDL): 214