マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究
• タイトルよみ: マイクロハレイキプラズマ ニ ヨル テイユウデンリツ/コウユウデンリツ ハクマク ケイセイ プロセス ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 平山, 昌樹, 東北大学
• 著者標目: 平山, 昌樹 ヒラヤマ, マサキ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 低誘電率層間絶縁膜 テイユウデンリツソウカンゼツエンマク; 高誘電率膜 コウユウデンリツマク; マイクロ波 マイクロハ; プラズマ プラズマ; 半導体 ハンドウタイ; プロセス プロセス; ラジアルラインスロツトアンテナ ラジアルラインスロツトアンテナ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10450111
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10450111
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007058788; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058788
• 整理区分コード: 214