マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究

• Material Type: 図書
• Title: マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究
• Title Transcription: マイクロハレイキプラズマ ニ ヨル テイユウデンリツ/コウユウデンリツ ハクマク ケイセイ プロセス ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 平山, 昌樹, 東北大学
• Author Heading: 平山, 昌樹 ヒラヤマ, マサキ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 低誘電率層間絶縁膜 テイユウデンリツソウカンゼツエンマク; 高誘電率膜 コウユウデンリツマク; マイクロ波 マイクロハ; プラズマ プラズマ; 半導体 ハンドウタイ; プロセス プロセス; ラジアルラインスロツトアンテナ ラジアルラインスロツトアンテナ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10450111
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10450111
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007058788; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058788
• Bibliographic Record Category (NDL): 214