書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ビーム ソノ バ プロセス ニ ヨル ナノ シンクウ デンシ ゲン ノ サクセイ ト ヒョウカ
- 著者・編者
- 高井, 幹夫, 大阪大学
- 著者標目
- 高井, 幹夫 タカイ, ミキオ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 真空マイクロエレクトロニクス シンクウマイクロエレクトロニクス真空電子源 シンクウデンシゲン極微冷陰極 キヨクビレイインキヨク電界放出電子源 デンカイホウシユツデンシゲン集束イオンビーム シユウソクイオンビーム電子ビーム支援プロセス デンシビームシエンプロセスビームプロセス ビームプロセスイオンマイクロプローブ イオンマイクロプローブ