ビームその場プロセスによるナノ真空電子源の作製と評価

• Material Type: 図書
• Title: ビームその場プロセスによるナノ真空電子源の作製と評価
• Title Transcription: ビーム ソノ バ プロセス ニ ヨル ナノ シンクウ デンシ ゲン ノ サクセイ ト ヒョウカ
• Author/Editor: 高井, 幹夫, 大阪大学
• Author Heading: 高井, 幹夫 タカイ, ミキオ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 真空マイクロエレクトロニクス シンクウマイクロエレクトロニクス; 真空電子源 シンクウデンシゲン; 極微冷陰極 キヨクビレイインキヨク; 電界放出電子源 デンカイホウシユツデンシゲン; 集束イオンビーム シユウソクイオンビーム; 電子ビーム支援プロセス デンシビームシエンプロセス; ビームプロセス ビームプロセス; イオンマイクロプローブ イオンマイクロプローブ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10450138
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10450138
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007058800; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058800
• Bibliographic Record Category (NDL): 214