顕微干渉分光法による超微細構造内のプロセス診断法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 顕微干渉分光法による超微細構造内のプロセス診断法の開発
• タイトルよみ: ケンビカンショウ ブンコウホウ ニ ヨル チョウビサイ コウゾウ ナイ ノ プロセス シンダンホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 橘, 邦英, 京都大学
• 著者標目: 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: プラズマプロセス プラズマプロセス; 微細構造エツチング ビサイコウゾウエツチング; インプロセス・モニタリング インプロセス・モニタリング; 顕微干渉分光法 ケンビカンシヨウブンコウホウ; 二次元加工形状診断 2ジゲンカコウケイジヨウシンダン; 二次元加工速度診断 2ジゲンカコウソクドシンダン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555022
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555022
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007059279; http://id.ndl.go.jp/bib/000007059279
• 整理区分コード: 214