顕微干渉分光法による超微細構造内のプロセス診断法の開発

• Material Type: 図書
• Title: 顕微干渉分光法による超微細構造内のプロセス診断法の開発
• Title Transcription: ケンビカンショウ ブンコウホウ ニ ヨル チョウビサイ コウゾウ ナイ ノ プロセス シンダンホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 橘, 邦英, 京都大学
• Author Heading: 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: プラズマプロセス プラズマプロセス; 微細構造エツチング ビサイコウゾウエツチング; インプロセス・モニタリング インプロセス・モニタリング; 顕微干渉分光法 ケンビカンシヨウブンコウホウ; 二次元加工形状診断 2ジゲンカコウケイジヨウシンダン; 二次元加工速度診断 2ジゲンカコウソクドシンダン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555022
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10555022
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007059279; http://id.ndl.go.jp/bib/000007059279
• Bibliographic Record Category (NDL): 214