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光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発

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光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555039
国立国会図書館書誌ID
000007059288
資料種別
図書
著者
高谷, 裕浩, 大阪大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ ホウシャアツ マイクロ カコウ ツール ノ シサク カイハツ
著者・編者
高谷, 裕浩, 大阪大学
著者標目
著者 : 高谷, 裕浩 タカヤ, ヤスヒロ ( 01126347 )典拠
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
光放射圧 ヒカリホウシヤアツ
マイクロパーツ マイクロパーツ
マイクロ加工 マイクロカコウ
ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク
加工ツール カコウツール
ナノ加工痕 ナノカコウコン
TDFD法 TDFDホウ
光硬化性樹脂 ヒカリコウカセイジユシ